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ピラースーパージョイントは、ベアウエハ精密研磨をはじめ 絶縁膜・メタル配線など多様化するＣＭＰプロセスに対して優れた密封性と長寿命を両立するロータリージョイントです。
ＣＭＰ装置に代表される回転加圧ヘッドを用いる半導体・
ＦＰＤ製造装置に不可欠な機能部品です。
【主要用途】
・冷却水・ウエハ加圧用の空気供給
・ウエハ吸着用の真空供給
・水スパウト用 純水・スラリ液供給
・ターンテーブル冷却水の供給
●特長
◆流路はＰＴＦＥまたはＰＥＥＫ製です。
接液部の流路は、金属汚染に配慮し、 ＰＴＦＥまたはＰＥＥＫを使用しています。◆メカニカルシール構造を採用。
メカニカルシール設計技術を応用しています。 シール端面には、耐薬品性・耐スラリ性に優れる ＳｉＣを使用しています。◆広い圧力範囲に対応可能です。
シール流体圧力が、負圧から正圧までの幅広い 範囲でご使用いただけます。◆クリーンルームで生産しています。
禁油処理は無論、『洗浄→組立→包装』まで 一貫してクリーンルーム内で行っています。
●適用シール流体
・超純水
・ＣＭＰスラリなど研磨砥液
・真空
・加圧空気
多ポート・大流量タイプや樹脂シールを使用したコンパクトなロータリージョイントなど、ご使用条件に応じた設計が可能です。
ぜひ一度ご相談ください。
