製品情報

薬液補充用定量ポンプ PWシリーズ

製品カテゴリ

ふっ素樹脂製流体制御製品

産業分野

食品・医薬, 半導体

使用機器

ポンプ, 配管, その他

薬液の補充・調合ラインに!

  • 製品説明
  • 添付資料

■特長

◆繰り返し精度±1%を実現

吐出後のボタ落ちを構造的に解決し、定量精度を向上させています。



◆ 4spm~40spm に可変可能

薬液補充ポンプとして4spm~40spmにストロークスピードをコントロールできますので、幅広い濃度管理に使用できます。



◆新バルブ機構を採用(PAT.P)

サイホン現象を止めるバルブ機構を採用。



◆耐久性が向上

エア駆動部のピストン摺動部には、優れた耐摩耗性を有する特殊充填剤入PTFE製スリッパリングを採用し、耐久性が向上しています。



◆接液部はすべてふっ素樹脂

薬液が接する部分はふっ素樹脂(PTFE、PFA)で形成されていますので、半導体製造に用いられる種々の薬品に対応できます。

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