製品情報

CMPプロセス用スラリーポンプ

製品カテゴリ

ふっ素樹脂製流体制御製品

産業分野

食品・医薬, 半導体

使用機器

ポンプ, 配管

スラリーの供給・循環を支える高機能ポンプです。 ベローズ部を縦型にする事により、蛇腹部へのスラリー堆積がありません。

  • 製品説明
  • 添付資料
  • 性能

■特徴

◆ 理想的な流体フローを発生するため、ベローズひだ部の液溜りがほとんどありません。

◆ シリカ系スラリーはもちろん、沈降速度が速いメタル系スラリーにも適応。

◆ 長年培ってきた経験に基づいて加工した弊社独自のベローズ。

◆ 接液部は、すべてふっ素樹脂を使用しているため、パーティクルの発生がなくクリーン。

◆ 専用アキュームレータとの組み合わせで、スラリーの低脈動吐出が可能。



■用途

◆ 原液タンクや混合槽からスラリー液をCMP装置へ送液する際のポンプとして。

◆ 未送液時におけるスラリー沈降防止のためのスラリー液常時循環用ポンプとして。

■性能

・形式 PC-10MB

 最大吐出量(L/min):12

 最高使用圧力(MPa): 0.5

 使用温度(℃): 10~100

・形式 PC-20MB

 最大吐出量(L/min):24

 最高使用圧力(MPa): 0.5

 使用温度(℃): 10~100

・形式 PC-40MB

 最大吐出量(L/min):48

 最高使用圧力(MPa): 0.5

 使用温度(℃): 10~100

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