製品情報

半導体・FPD向けロータリージョイント ピラースーパージョイント™

製品カテゴリ

ふっ素樹脂製流体制御製品

産業分野

半導体

使用機器

ポンプ, その他

シーリング総合メーカーの固有技術を生かし 半導体・FPD製造装置向け、長寿命ロータリージョインが実現!!

  • 製品説明
  • 添付資料

ピラースーパージョイントは、ベアウエハ精密研磨をはじめ 絶縁膜・メタル配線など多様化するCMPプロセスに対して優れた密封性と長寿命を両立するロータリージョイントです。

CMP装置に代表される回転加圧ヘッドを用いる半導体・

FPD製造装置に不可欠な機能部品です。

【主要用途】

 ・冷却水・ウエハ加圧用の空気供給

 ・ウエハ吸着用の真空供給

 ・水スパウト用 純水・スラリ液供給

 ・ターンテーブル冷却水の供給

●特長


◆流路はPTFEまたはPEEK製です。





  接液部の流路は、金属汚染に配慮し、  PTFEまたはPEEKを使用しています。◆メカニカルシール構造を採用。





  メカニカルシール設計技術を応用しています。  シール端面には、耐薬品性・耐スラリ性に優れる  SiCを使用しています。◆広い圧力範囲に対応可能です。





  シール流体圧力が、負圧から正圧までの幅広い 範囲でご使用いただけます。◆クリーンルームで生産しています。 


  禁油処理は無論、『洗浄→組立→包装』まで 一貫してクリーンルーム内で行っています。


●適用シール流体


 ・超純水


 ・CMPスラリなど研磨砥液


 ・真空


 ・加圧空気





多ポート・大流量タイプや樹脂シールを使用したコンパクトなロータリージョイントなど、ご使用条件に応じた設計が可能です。


ぜひ一度ご相談ください。



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